25年蝕刻領(lǐng)域?qū)崙?zhàn)經(jīng)驗(yàn),擁有上萬次成功案例,500強(qiáng)企業(yè)的信賴。

當(dāng)下全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭持續(xù)聚焦先進(jìn)封裝、晶圓測(cè)試與微納制程技術(shù)迭代,Chiplet 異構(gòu)集成、2.5D/3D 封裝、WLP 晶圓級(jí)封裝、第三代半導(dǎo)體器件量產(chǎn)提速,對(duì)各類精密工裝、微孔陣列構(gòu)件、晶圓模板、微流控零部件提出前所未有的制造標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體零部件內(nèi)部微米級(jí)微結(jié)構(gòu)的成型精度、孔壁垂直度、表面光潔度、尺寸一致性,直接影響芯片封裝良率、測(cè)試穩(wěn)定性與器件長期可靠性。傳統(tǒng)蝕刻、激光切割、CNC 切削、沖壓等減材加工工藝,受物理原理限制,普遍存在側(cè)蝕、殘余應(yīng)力、熱影響區(qū)、深寬比不足等先天短板,難以滿足高端半導(dǎo)體微米乃至亞微米制造需求。深耕精密電鑄領(lǐng)域 26 年的深圳卓力達(dá),持續(xù)迭代半導(dǎo)體專屬脈沖電鑄工藝,依托原子級(jí)電化學(xué)增材制造優(yōu)勢(shì),攻克多項(xiàng)微結(jié)構(gòu)制造難題,全方位助推國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)技術(shù)升級(jí),加速高端精密零部件國產(chǎn)化替代進(jìn)程。
行業(yè)調(diào)研數(shù)據(jù)顯示,2026 年國內(nèi)半導(dǎo)體封測(cè)市場(chǎng)規(guī)模穩(wěn)步增長,先進(jìn)封裝市場(chǎng)增速持續(xù)領(lǐng)跑。隨著國內(nèi)晶圓廠、封測(cè)企業(yè)不斷擴(kuò)產(chǎn),晶圓植球模板、微濾片、精密定位治具、微孔陣列掩膜、半導(dǎo)體微流控構(gòu)件需求持續(xù)攀升。高端半導(dǎo)體零部件硬性指標(biāo)持續(xù)收緊:最小成型微孔低至 5μm,尺寸公差穩(wěn)定控制在 ±0.005mm 以內(nèi),部分精細(xì)結(jié)構(gòu)要求公差達(dá)到 ±0.001mm;微結(jié)構(gòu)深寬比可達(dá) 1:50,孔壁垂直度≥92°,內(nèi)壁無毛刺、無階梯起伏;工件無加工殘余應(yīng)力,超薄板材長期高低溫工況下不翹曲、不變形。同時(shí)產(chǎn)品必須滿足萬級(jí)潔凈生產(chǎn)要求,杜絕金屬微粒脫落、表面污染,防止造成芯片短路、封裝不良。嚴(yán)苛的制造門檻,倒逼上游精密加工企業(yè)進(jìn)行工藝革新,精密電鑄憑借獨(dú)特的成型機(jī)理,逐步成為半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)制造主流工藝路線。
長期以來,國內(nèi)半導(dǎo)體高端精密零部件制造受制于傳統(tǒng)加工工藝短板。化學(xué)蝕刻作為成熟減材工藝,天然存在側(cè)蝕現(xiàn)象,高密度微孔陣列容易出現(xiàn)尺寸不均、邊緣塌陷,無法實(shí)現(xiàn)超高深寬比結(jié)構(gòu)成型;機(jī)械沖壓依靠外力擠壓成型,超薄金屬板材極易回彈形變,微結(jié)構(gòu)拉伸失真,模具開發(fā)周期長、改款成本高,不適合半導(dǎo)體產(chǎn)品快速迭代;激光切割會(huì)產(chǎn)生明顯熱影響區(qū),切口出現(xiàn)氧化層、熔融掛渣與微裂紋,破壞金屬金相組織,降低零部件尺寸穩(wěn)定性;CNC 微銑加工微細(xì)結(jié)構(gòu)效率低下、材料損耗大,微小毛刺難以徹底清除,極易污染晶圓制程。眾多中小加工廠商工藝管控能力有限,批量產(chǎn)品精度波動(dòng)大,難以進(jìn)入頭部封測(cè)企業(yè)供應(yīng)鏈。多重因素疊加下,大量高端半導(dǎo)體電鑄工裝、晶圓模板長期依賴海外采購,交付周期漫長、定制響應(yīng)滯后、采購成本居高不下,供應(yīng)鏈安全風(fēng)險(xiǎn)突出。
區(qū)別于各類減材制造方案,精密電鑄屬于原子級(jí)增材成型工藝。深圳卓力達(dá)依托自研半導(dǎo)體專用電鑄體系,以高精度光刻母模為載體,通過精準(zhǔn)調(diào)控脈沖電流、鍍液組分、溫度與流體環(huán)境,令鎳鈷合金、高純鎳金屬離子有序沉積復(fù)刻母模圖形。整個(gè)成型過程常溫進(jìn)行,無機(jī)械接觸、無高溫灼燒、無切削應(yīng)力,從根源規(guī)避形變、熱損傷、邊緣毛刺等常見缺陷,完美契合半導(dǎo)體行業(yè)高精密、高潔凈、高可靠性的生產(chǎn)要求。
在核心精度控制層面,深圳卓力達(dá)全線搭載激光直寫光刻制模系統(tǒng),母模圖形對(duì)位精度可達(dá) ±1μm,為高精度復(fù)刻奠定基礎(chǔ)。通過多級(jí)分段脈沖電沉積技術(shù),有效平衡鍍層均勻性與晶粒致密性,成品孔徑、孔距、厚度公差穩(wěn)定可控,微孔陣列整體位置偏差控制在 3μm 以內(nèi)。工藝可一次性成型圓孔、方孔、異形階梯孔、漸變厚度結(jié)構(gòu)、雙面復(fù)合圖形,無需二次粘接與組裝。依托優(yōu)化后的鍍液配方與動(dòng)態(tài)噴淋系統(tǒng),工件內(nèi)壁光滑平整,表面粗糙度低至 Ra0.05μm,無需額外拋光工序,能夠有效減少錫膏掛壁、微粒附著等問題,大幅提升晶圓植球、錫膏印刷工序良率。
超薄無應(yīng)力成型能力,是卓力達(dá)電鑄服務(wù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)另一大核心優(yōu)勢(shì)。先進(jìn)封裝大量使用 0.03–0.1mm 超薄精密模板,微小應(yīng)力便會(huì)引發(fā)板面翹曲,導(dǎo)致印刷偏移、植球漏球。卓力達(dá)在生產(chǎn)全流程建立應(yīng)力管控體系,優(yōu)化沉積速率降低鍍層內(nèi)應(yīng)力,配合真空負(fù)壓工裝、分級(jí)緩釋后處理工藝,電鑄成品平整度≤0.003mm,在反復(fù)升溫、加壓量產(chǎn)工況下尺寸漂移極小。依托鎳鈷合金電鑄配方,工件硬度可達(dá) HV600 以上,耐磨性能優(yōu)異,可承受數(shù)十萬次連續(xù)循環(huán)作業(yè),使用壽命顯著優(yōu)于進(jìn)口蝕刻模板,有效降低封測(cè)企業(yè)耗材更換成本。
潔凈生產(chǎn)與材質(zhì)適配能力充分匹配半導(dǎo)體嚴(yán)苛準(zhǔn)入標(biāo)準(zhǔn)。深圳卓力達(dá)設(shè)立萬級(jí)半導(dǎo)體專屬潔凈車間,配備獨(dú)立超純水循環(huán)清洗線、等離子表面活化、真空鈍化處理工序,嚴(yán)格管控粉塵與有機(jī)污染物。針對(duì)不同應(yīng)用場(chǎng)景,企業(yè)可靈活選用高純鎳、鎳鈷合金等材質(zhì),成品耐酸堿、耐腐蝕,適配晶圓清洗、植球、封裝等多種制程環(huán)境。企業(yè)建立完整的微米級(jí)檢測(cè)體系,配備三維輪廓儀、高倍率金相顯微鏡、全自動(dòng)影像測(cè)量儀,對(duì)孔徑、垂直度、平面度、厚度進(jìn)行 100% 全檢,所有工藝參數(shù)、檢測(cè)數(shù)據(jù)長期存檔,實(shí)現(xiàn)全流程質(zhì)量追溯。公司通過 ISO9001 質(zhì)量管理體系認(rèn)證,配套電鑄液閉環(huán)再生系統(tǒng),金屬離子回收率超 95%,廢液無害化循環(huán)使用,滿足半導(dǎo)體制造綠色低碳發(fā)展要求。
柔性化交付模式,適配半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)迭代節(jié)奏。卓力達(dá)采用可重復(fù)使用光刻母模替代硬質(zhì)模具,3–5 天即可完成樣品打樣,圖紙修改無需高額開模費(fèi)用,能夠快速配合芯片設(shè)計(jì)公司、封測(cè)企業(yè)開展新品驗(yàn)證。全自動(dòng)電鑄生產(chǎn)線可靈活承接小批量試樣與大規(guī)模量產(chǎn)訂單,量產(chǎn)良品率穩(wěn)定維持 99.5% 以上。相較海外同類產(chǎn)品,同等規(guī)格下綜合采購成本下降 40% 至 60%,同時(shí)依托大灣區(qū)區(qū)位優(yōu)勢(shì),快速響應(yīng)深圳、東莞、長三角半導(dǎo)體企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)對(duì)接需求。
目前,深圳卓力達(dá)精密電鑄產(chǎn)品已批量應(yīng)用于國內(nèi)多家頭部封測(cè)廠商。在晶圓級(jí)封裝、FC 倒裝芯片領(lǐng)域,微米級(jí)電鑄晶圓植球模板、錫膏印刷鋼網(wǎng)微孔均勻、脫模效果優(yōu)異,有效減少少錫、橋連、漏植等不良;在晶圓測(cè)試環(huán)節(jié),高精度電鑄限位構(gòu)件、微濾片潔凈度高,有效阻隔雜質(zhì),保障測(cè)試數(shù)據(jù)穩(wěn)定;在 MEMS 器件、微流控芯片制造領(lǐng)域,一體成型高密度微通道構(gòu)件,助力微納器件性能持續(xù)突破。
持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新是企業(yè)深耕半導(dǎo)體賽道的核心驅(qū)動(dòng)力。深圳卓力達(dá)每年提取營收 5% 投入工藝研發(fā),組建專業(yè)材料工藝團(tuán)隊(duì),重點(diǎn)攻堅(jiān)亞微米級(jí)超精細(xì)電鑄、超高深寬比微結(jié)構(gòu)成型、特種合金電鑄等前沿方向。同時(shí)向前延伸技術(shù)服務(wù)能力,為客戶提供結(jié)構(gòu)仿真、工藝可行性評(píng)估、公差優(yōu)化等前置技術(shù)支持,從產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段規(guī)避成型缺陷,縮短新品研發(fā)周期。
業(yè)內(nèi)專家分析,先進(jìn)封裝競爭本質(zhì)是微納精密制造能力的比拼,微米級(jí)零部件制造水平,直接決定國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈綜合競爭力。長期以來,高端電鑄精密構(gòu)件被海外廠商占據(jù),而深圳卓力達(dá)成熟穩(wěn)定的國產(chǎn)化電鑄方案,有效補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈短板,幫助眾多半導(dǎo)體企業(yè)降低供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)。
微米鑄芯,賦能封測(cè)革新。面向未來,深圳卓力達(dá)將持續(xù)深耕半導(dǎo)體精密電鑄賽道,不斷迭代微米、亞微米級(jí)成型工藝,持續(xù)完善從設(shè)計(jì)仿真、快速打樣到大規(guī)模量產(chǎn)一站式服務(wù)體系。企業(yè)將進(jìn)一步加強(qiáng)與國內(nèi)晶圓廠、封測(cè)企業(yè)、科研院校產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新,攻克更多 “卡脖子” 微結(jié)構(gòu)制造難題,以穩(wěn)定可靠的精密電鑄制造能力,持續(xù)助推國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)邁向更高精度、更高良率、自主可控的全新發(fā)展階段,為先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展持續(xù)注入精密智造動(dòng)能。
